在精密镜面火花机闭环与半闭环伺服系统中，是用反馈信号和指令信号的比较结果来进行速度和位置控制的。因此，为了提高精密镜面火花机的加工精度，必须提高检测元件和检测系统的精度。由于设备种类、工作条件和检测要求不同，因而使用的检测元件和检测方式也有很多种。下面我们简单的说说精密镜面火花机的几种检测方式以及有哪些检测元件。

检查方法：

　　1、数字式和模拟式：数字式是将被测量进行单位量化后以数字的形式表示，其特点是被测量经量化后转换成了脉冲个数，便于数据处理。检测精度取决于测量单位，检测装置比较简单，脉冲信号抗干扰能力强。模拟式是将被测量用连续的变量来表示，其特点是被测量用连续的变量值来表示，可直接测量被测量，无须量化，在小量程内可以实现高精度测量。

　　2、增量式和式：增量式检测只测位移的增量，每移动一个测量单位就发一个测量信号，其特点是结构简单。任何一个对中点都可以作为测量的起点，然而，在运动过程中，一旦发生意外中断，则不能再找到中断前的位置，只能重新开始。式检测则无此缺点，任何位置都由一固定值与之对应，但结构复杂。

　　在精密镜面火花机上常用的滑动导轨有液体静压导轨、气体静压导轨和贴塑导轨。

　　1、液体静压导轨：在两导轨工作面间通入具有一定压力的润滑油，形成静压油膜，使导轨工作面间处于纯液态摩擦状态，摩擦系数极低，多用于进给运动导轨。

　　2、贴塑导轨：在动导轨的摩擦表面上贴上一层由塑料等其它化学材料组成的塑料薄膜软带，其优点是导轨面的摩擦系数低，且动静摩擦系数接近，不易产生爬行现象；塑料的阻尼性能好，具有吸收振动能力，可减小振动和噪声；耐磨性、化学稳定性、可加工性能好；工艺简单、成本低。

3、气体静压导轨：在两导轨工作面间通入具有恒定压力的气体，使两导轨面形成均匀分离，以得到高精度的运动。这种导轨摩擦系数小，不易引起发热变形，但会随空气压力波动而使空气膜发生变化，且承载能力小，故常用于负荷不大的场合。

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